特許

J-GLOBAL ID：200903099316543245

ウェーハにおける異物の検査装置

発明者： 神▲崎▼ 豊樹
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-320758
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141416
出願日： 1999年11月11日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 ウェーハ裏面の異物を検出し、検出した異物の高さや体積を評価することにより、露光時に焦点ぼけの原因となるウェーハ裏面の異物を効率よく検出することができるウェーハにおける異物の検査装置を提供すること。【解決手段】 ウェーハ3の回路パターンを形成しない裏面3b側に、異物検出光学系17と異物高さ測定装置20を配置し、異物検出光学系17によってウェーハ裏面における異物の存在の有無を検査し、前記裏面3bに一定の大きさと評価できる異物が存在する場合、異物高さ測定装置20によって当該異物の高さを測定し、この高さに基づいて異物を評価し、露光時に焦点ぼけの原因となる異物を予め検出するようにした。

請求項（抜粋）：

ウェーハの回路パターンを形成しない裏面側に、異物検出光学系と異物高さ測定装置を配置し、異物検出光学系によってウェーハ裏面における異物の存在の有無を検査し、前記裏面に一定の大きさと評価できる異物が存在する場合、異物高さ測定装置によって当該異物の高さを測定し、この高さに基づいて異物を評価し、露光時に焦点ぼけの原因となる異物を予め検出するようにしたことを特徴とするウェーハにおける異物の検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/02 ,  G01N 21/956

FI (3件)：

G01B 11/00 A ,  G01B 11/02 Z ,  G01N 21/956 A

Fターム (23件)：

2F065AA24 ,  2F065AA49 ,  2F065CC19 ,  2F065DD00 ,  2F065FF10 ,  2F065FF44 ,  2F065GG05 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ17 ,  2F065LL19 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065PP11 ,  2F065PP23 ,  2F065PP24 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051CA02 ,  2G051CB05 ,  2G051EC01