M×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ、及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-116131
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005607
出願日： 1996年05月10日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】光投射システムで用いられ、ストレスを除去し得るM × N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法を提供する。【解決手段】薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ311は、能動マトリックス210及び駆動構造のアレイを含み、各駆動構造は第2薄膜電極、電気的に変形可能な薄膜部及び第1薄膜電極を含み、薄膜犠牲層224に空スロットのアレイを形成し、弾性層230にコンジット226のアレイを形成し、第2薄膜電極245を形成し、第2薄膜層245にストライプ280を形成し、第1薄膜層260、電気的に変形可能な層、第2薄膜層240及び弾性層230をパターニングして、アクチュエーテッドミラーアレイを形成し、薄膜保護層270を形成し、薄膜犠牲層224を除去し、この薄膜保護層270を除去して薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ311を完成する。

請求項（抜粋）：

光投射システムで用いるM×N個のアクチュエーテッドミラーアレイ(M及びNは正の整数)であって、各接続端子が関連トランジスタに電気的に連結されたM×N個の接続端子のアレイ、M×N個のトランジスタのアレイ及び基板を含む駆動基板と、前記各駆動構造が駆動部分及び光反射部分を有し、各駆動構造が弾性部、一対のコンジット、ストライプにより2つの部分に分けられた第2薄膜電極、電気的に変形可能な薄膜部及び第1薄膜電極を含み、前記第1及び第2薄膜電極が各々電気的に変形可能な薄膜部の上部及び下部に位置し、前記弾性部が第2薄膜電極の下部に位置するM×N個の駆動構造のアレイと、前記第2薄膜電極でストライプにより分けられた2つの部分は各駆動構造の駆動部分及び反射部分と対応し、前記各駆動構造の駆動部分に対応する第2薄膜電極の部分は、コンジット及び接続端子を通じてトランジスタに電気的に連結されて各駆動構造で信号電極としての機能をし、前記第1薄膜電極は各駆動構造でバイアス電極及びミラーとしての機能をする前記駆動構造のアレイとを含むことを特徴とするM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ。

IPC (4件)：

G02B 7/198 , G02B 7/185 , G02B 26/08 , G09F 9/00 360

FI (4件)：

G02B 7/18 B , G02B 26/08 E , G09F 9/00 360 Z , G02B 7/18 701

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