特許

J-GLOBAL ID：200903099324674812

走査型レーザ顕微鏡

発明者： 北原 章広
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-302429
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124995
出願日： 1999年10月25日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】本発明は、共振型ガルバノミラーを用いても本来の機能操作性を制限することなく、共振型ガルバノミラーの故障を抑えて信頼性を高くすること。【解決手段】レーザ光1を、共振型ガルバノミラー22及びガルバノミラー23によりXY方向に走査して試料13上に照射し、この試料13からの光を検出して試料13の観察画像を得るもので、操作部31からの操作入力による2次元画像データに対する明るさやコントラストの調整、さらには共振型ガルバノミラ-22及びガルバノミラ-23の走査開始、振幅制御、走査停止等の処理の終了後、操作部31より一定隔以上所定の操作がない場合、共振型ガルバノミラー22を停止又はその走査角を減少させるように制御する。

請求項（抜粋）：

レーザ光源から出力されたレーザ光を、少なくとも一方が共振型で互いに直交する方向に走査する2つのガルバノミラーにより試料上に走査し、この試料からの光を検出して前記試料の画像を得る走査型レーザ顕微鏡において、少なくとも前記試料の画像に対する処理の操作を入力するための操作手段と、この操作手段から入力された操作に対する処理の終了後、前記操作手段から一定間隔以上操作入力がなければ、前記共振型ガルバノミラーの動作を停止又は走査角を減少させる制御手段と、を具備したことを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/00 ,  G02B 26/10 ,  G02B 26/10 104

FI (3件)：

G02B 21/00 ,  G02B 26/10 C ,  G02B 26/10 104

Fターム (9件)：

2H045AB02 ,  2H045AB38 ,  2H045BA13 ,  2H045DA15 ,  2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34

引用特許：

審査官引用 (1件)

• レーザー走査型光学顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-087693   出願人：興和株式会社