特許
J-GLOBAL ID：200903099325059917
非単結晶タンデム型太陽電池の製法及びそれに用いる製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曽々木 太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-254728
公開番号（公開出願番号）：特開平5-063223
出願日： 1991年09月04日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 高い変換効率と信頼性を有するタンデム型太陽電池を、比較的簡易な工程で、安価な装置を用いて作成する非単結晶タンデム型太陽電池及びそれに用いる製造装置を提供する。【構成】 本発明の製法は、pin接合を単室型製膜装置と多室分離型製膜装置を組合せてなる製膜装置を用いて非単結晶タンデム型太陽電池を製造するものである。また、本発明の製造装置は、主制御装置1と、原料ガス供給装置2と、ガス流量制御装置3と、搬送装置45と基板保持装置42と反応装置とを有する複数の反応室4と、ガス圧力調節装置5、ガス排出装置6とからなる非単結晶タンデム型太陽電池の製造装置であって、主制御装置1の制御により少なくとも一つの反応室において、pin接合を形成することができるものである。
請求項（抜粋）：
非単結晶層を少なくとも一層以上含み複数のpin接合を膜厚方向に直列に接続してなる非単結晶タンデム型太陽電池の製法であって、pin接合を単室型成膜装置と多室分離型成膜装置を組み合わせてなる成膜装置を用いて形成することを特徴とする非単結晶タンデム型太陽電池の製法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 31/04 T
, H01L 31/04 W
