特許
J-GLOBAL ID：200903099326139086

基板洗浄システム

発明者：
大蔵 領一

大蔵 領一 について

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高石 みゆき

高石 みゆき について

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山口 弘

山口 弘 について

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上川内 秀夫

上川内 秀夫 について


出願人/特許権者：
エス・イー・エス株式会社

エス・イー・エス株式会社 について

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エムテック株式会社

エムテック株式会社 について


代理人 (1件)： 佐野 章吾 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-307606
公開番号（公開出願番号）：特開2001-223196
出願日： 2000年10月06日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：
【要約】【課題】 枚葉式ウェット洗浄の利点を生かし、高い清浄度雰囲気での洗浄を高精度に行なうことができ、装置構成も単純かつコンパクトでコストパーフォーマンスに優れた基板洗浄システムを提供する。【解決手段】 密閉可能に構成された装置本体1内に、洗浄処理前のウェハWが搬入待機する基板搬入部Aaおよび洗浄処理後のウェハが搬出待機する基板搬出部Abとからなるローディング・アンローディングブースAと、ウェハWを一枚ずつ洗浄処理する二つの枚葉式基板洗浄チャンバ10を備える処理ブースCと、両ブースA,C間でウェハWを一枚ずつ移載する移載ロボット70を備えるロボットブースBとが設けられてなり、これら各ブースA,B,Cが必要最小限度の開口面積を有する隔壁2,3をもって区画形成されている。
請求項（抜粋）：
密閉可能に構成された装置本体内に、洗浄処理前の基板が複数枚ストックされて搬入待機する基板搬入部および洗浄処理後の基板が複数枚ストックされて搬出待機する基板搬出部とからなるローディング・アンローディングブースと、基板を一枚ずつ複数の洗浄液で洗浄処理する少なくとも一つの枚葉式基板洗浄チャンバを備える処理ブースと、この処理ブースと前記ローディング・アンローディングブースの間で基板を一枚ずつ移載する移載ロボットを備えるロボットブースとが設けられてなり、これら各ブースが必要最小限度の開口面積を有する隔壁をもって区画形成されていることを特徴とする基板洗浄システム。
IPC (7件)：
H01L 21/304 648 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/02 ,  B08B 3/04 ,  B08B 3/08 ,  B25J 9/06 ,  H01L 21/68
FI (8件)：
H01L 21/304 648 A ,  H01L 21/304 648 K ,  H01L 21/304 648 L ,  B08B 3/02 A ,  B08B 3/04 ,  B08B 3/08 Z ,  B25J 9/06 D ,  H01L 21/68 A
Fターム (68件)：
3B201AA03 ,  3B201AB34 ,  3B201AB42 ,  3B201BB22 ,  3B201BB32 ,  3B201BB45 ,  3B201BB93 ,  3B201BB95 ,  3B201BB99 ,  3B201CB12 ,  3B201CC01 ,  3B201CD41 ,  3F060AA01 ,  3F060AA07 ,  3F060AA08 ,  3F060CA21 ,  3F060EB02 ,  3F060EB12 ,  3F060EC02 ,  3F060FA02 ,  3F060HA12 ,  3F060HA28 ,  3F060HA35 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031FA21 ,  5F031GA03 ,  5F031GA06 ,  5F031GA08 ,  5F031GA13 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA36 ,  5F031GA38 ,  5F031GA44 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA24 ,  5F031HA27 ,  5F031HA29 ,  5F031HA48 ,  5F031HA59 ,  5F031JA02 ,  5F031JA05 ,  5F031JA13 ,  5F031JA23 ,  5F031JA25 ,  5F031JA30 ,  5F031KA02 ,  5F031KA03 ,  5F031LA13 ,  5F031LA15 ,  5F031MA03 ,  5F031MA11 ,  5F031MA23 ,  5F031NA02 ,  5F031NA16 ,  5F031NA18 ,  5F031PA08 ,  5F031PA21 ,  5F031PA23
引用特許：
審査官引用 (11件)
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