特許

J-GLOBAL ID：200903099327039859

液晶複合体の評価方法

発明者： 上野 理恵 ,  大山 淳史
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-339938
公開番号（公開出願番号）：特開2001-154168
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 液晶及び非液晶性材料からなる液晶複合体を非破壊で完全な状態で評価する方法を提供する。【解決手段】 液晶及び非液晶性材料からなる液晶複合体を観察して該液晶及び非液晶性材料の形態を評価する方法において、前記液晶複合体の液晶の除去をすることなく、または液晶を除去して非液晶性材料の部分に金属膜を蒸着することなく、液晶複合体の液晶及び非液晶性材料を非環境制御型の走査型電子顕微鏡により観察する液晶複合体の形態の評価方法。

請求項（抜粋）：

液晶及び非液晶性材料からなる液晶複合体を観察して該液晶及び非液晶性材料の形態を評価する方法において、前記液晶複合体の液晶及び非液晶性材料を非環境制御型の走査型電子顕微鏡により観察することを特徴とする液晶複合体の評価方法。

IPC (3件)：

G02F 1/13 101 ,  G01N 23/225 ,  G02F 1/1334

FI (3件)：

G02F 1/13 101 ,  G01N 23/225 ,  G02F 1/1334

Fターム (21件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001GA09 ,  2G001JA01 ,  2G001JA20 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001RA01 ,  2H088FA11 ,  2H088FA21 ,  2H088GA10 ,  2H088MA20 ,  2H089HA04 ,  2H089KA07 ,  2H089LA07 ,  2H089MA01X ,  2H089NA05 ,  2H089QA16