特許
J-GLOBAL ID：200903099335638753
異物検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-104378
公開番号（公開出願番号）：特開平5-296937
出願日： 1992年04月23日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】異物検査に要する時間を短縮すると共に、フォトマスクに異物が付着する可能性を低減し、精度良く異物を検出できる異物検査装置を提供すること。【構成】異物検査装置は、フォトマスクの表面を照明する第1照明系と、フォトマスクの裏面を照明する第2照明系と、第1及び第2照明系の少なくとも一方により照明されるフォトマスクの表面の異物を検出する第1検出系と、第2照明系により照明されるフォトマスクの裏面の異物を検出する第2検出系とを有する。
請求項（抜粋）：
表面に所定のパターンを有するフォトマスクに付着した微小な異物を検査する異物検査装置において、前記フォトマスクの表面に向けて照明光を供給する第1照明系と、前記フォトマスクの裏面に向けて照明光を供給する第2照明系と、前記第1及び第2照明系の少なくとも一方からの照明光のもとで前記フォトマスクの表面の異物を検出する第1検出系と、前記第2照明系からの照明光のもとで前記フォトマスクの裏面の異物を検出する第2検出系とを有することを特徴とする異物検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01N 21/84
, G02B 21/06
, G03F 1/08
, H01L 21/66
