特許

J-GLOBAL ID：200903099341106607

マイクロ波式プラズマトーチ及び有機ハロゲン化合物の分解装置

発明者： 別所 正博 ,  椿 泰広 ,  服部 敏夫
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 藤田 考晴 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-140714
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331795
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】 運転開始時における良好な着火性能を有し、しかも着火後は良好なプラズマ形状を維持して安定した運転を可能にするマイクロ波式プラズマトーチ及び有機ハロゲン化合物の分解装置を提供する。【解決手段】 外側導体8及び内側導体9よりなる円筒導波管7と、該円筒導波管7内に同軸に設置された内管11及び外管12よりなる二重構造の放電管5とを具備し、前記内側導体9を延長してなるプローブアンテナ9aが前記放電管5を囲むように配置され、前記内管11の先端を前記プローブアンテナ9aの先端より内側に位置せしめた。

請求項（抜粋）：

外側導体及び内側導体よりなる円筒導波管と、該円筒導波管内に同軸に設置された内管及び外管よりなる二重構造の放電管とを具備し、前記内側導体を延長してなるプローブアンテナが前記放電管を囲むように配置され、前記内管の先端を前記プローブアンテナの先端より内側に位置せしめたことを特徴とするマイクロ波式プラズマトーチ。

IPC (3件)：

H05H 1/30 ,  A62D 3/00 ,  B01J 19/08

FI (3件)：

H05H 1/30 ,  A62D 3/00 ,  B01J 19/08 E

Fターム (16件)：

2E191BA12 ,  2E191BB00 ,  2E191BD18 ,  4G075AA37 ,  4G075AA65 ,  4G075BA05 ,  4G075BB04 ,  4G075CA02 ,  4G075CA15 ,  4G075CA26 ,  4G075CA47 ,  4G075CA62 ,  4G075CA63 ,  4G075EB21 ,  4G075EB27 ,  4G075EB43