特許
J-GLOBAL ID：200903099346781566
イオン注入装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-255973
公開番号（公開出願番号）：特開平6-076987
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】[目的] 全体としてコンパクトで、かつ放電を未然に防止することのできるイオン注入装置を提供すること。[構成] 高電圧ターミナル42の側面と、これと対向するシールドボックス41の内側面との間に固定される加速管43と同心的に取りつけられる金属フープ63と同数であり、かつこれと対向して金属フープ56を同心的に取り付け、シールドボックス41の外方に配設された電圧発生部から導出される高電圧を高電圧ターミナル42に印加するための保護抵抗71を被覆する絶縁材で成るブッシング60を高電圧ターミナル42の同側面とシールドボックス41の内壁面との間に取りつける。
請求項（抜粋）：
少なくともイオン源及び質量分離磁石を内蔵させたケーシングを地上より所定の高さに配設させ、高電圧電源装置により前記ケーシングに所定の高電圧を印加し、電力供給装置により前記イオン源や質量分離磁石などに電力を供給するようにし、前記ケーシングを電磁気的に遮蔽するシールドボックスを設けたイオン注入装置において、前記ケーシングの一側面と、該一側面と対向する前記シールドボックスの内壁面との間に、加速管と、前記高電圧電源装置の前記所定の高電圧を前記ケーシングに印加するための導電部材を被覆し、絶縁材でなるブッシングとを接続し、前記高電圧電源装置の高電圧発生部を絶縁流体を充満させた容器内に位置させ、該容器を前記シールドボックス外壁面に固定し、前記加速管に同心的に等間隔で取りつけられた複数の金属製環状体と前記ブッシングに同心的に等間隔で取りつけられた複数の金属製環状体とを相互に対向させ、かつ同数としたことを特徴とするイオン注入装置。
IPC (2件)：
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