特許
J-GLOBAL ID：200903099347926533
非接触温度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-298727
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142078
出願日： 1996年11月11日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 高速高精度の温度検出が可能な非接触温度測定装置を提供する。【解決手段】 本装置は、光を基板1に照射する光源2,3と、光検出器5と、コンピュータ6と、表示器7とを備える。コンピュータ6内には、基板1の屈折率及び厚さに関するデータが予め格納された領域を有する記憶装置と、光検出器5から出力された信号から干渉縞の間隔Yを算出し、測定された干渉縞の間隔Y及び記憶装置に格納されたデータを用いて、基板1の温度情報を出力する演算装置とが配置されており、この温度情報は表示器7上に表示される。
請求項（抜粋）：
互いに平行な表面及び裏面を有する対象物の温度を非接触で測定する非接触温度測定装置において、連続スペクトルを有する光を前記対象物に照射する光源と、前記光源から出射された光を所定角度を成す2つの平行光束に分ける光学系と、前記2つの平行光束が前記対象物の表面及び裏面で反射し、干渉することよって生ずる干渉縞、又は、前記2つの平行光束の前記対象物を透過した成分と前記裏面及び表面で反射した成分とが干渉することによって生ずる干渉縞、を検出する光検出器と、前記対象物の屈折率及び厚さに関するデータが予め格納された領域を有する記憶装置と、前記光検出器から出力された信号から前記干渉縞の間隔を算出し、測定された前記干渉縞の間隔及び前記記憶装置に格納されたデータを用いて、前記対象物の温度情報を出力する演算装置と、前記温度情報を表示する表示器と、を備えることを特徴とする非接触温度測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01K 11/12 H
, H01L 21/66 T
