特許

J-GLOBAL ID：200903099351680697

感放射線性樹脂組成物

発明者： 諏訪 充史 ,  岩沢 晴生 ,  山本 将史 ,  梶田 徹
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-018290
公開番号（公開出願番号）：特開平11-202491
出願日： 1998年01月16日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】 化学増幅型レジストとして、放射線に対する透明性が高く、十分なドライエッチング耐性を有するとともに、解像度が優れ、かつパターン形状、感度等を加味した特性バランスにも優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)8-t-ブトキシカルボニルテトラシクロ[ 4.4.0.11,5 .17,10 ]で代表されるノルボルネン誘導体に由来する繰返し単位(1)を含有する重合体、(B)感放射線性酸発生剤、および(C)デオキシコール酸t-ブトキシカルボニルメチルに代表されるアンドロスタン-17-カルボン酸エステル系化合物を含有する。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表される繰返し単位を含有する重合体、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)下記一般式(2)で表されるアンドロスタン-17-カルボン酸エステル系化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、AおよびBは相互に独立に水素原子または酸の存在下で解離して酸性官能基を生じる炭素数20以下の酸解離性有機基を示し、かつAおよびBの少なくとも一方が該酸解離性有機基であり、XおよびYは相互に独立に水素原子または炭素数1〜4のアルキル基を示し、nは0〜3の整数である。〕【化2】〔一般式(2)において、R1 、R2 およびR3 は相互に独立に水素原子、水酸基、炭素数1〜4のアルコキシル基、炭素数2〜5のアルキルカルボニルオキシ基または炭素数2〜5のハロアルキルカルボニルオキシ基を示し、R4 は炭素数1〜10の2価の有機基を示し、Zは炭素数20以下の1価の有機基を示す。〕

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R