特許

J-GLOBAL ID：200903099358489135

フォトリソグラフィで用いるズーム照明系

発明者： ホフマン, ジェフリー エム. ,  クニック, ジョセフ エム. ,  オスコトスキー, マーク ,  リズヒコフ, レフ
出願人/特許権者： エイエスエムエル ユーエス, インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 山本 秀策 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-560739
公開番号（公開出願番号）：特表2003-523641
出願日： 2000年02月16日
公開日（公表日）： 2003年08月05日
要約：

【要約】本発明は、散乱光学素子への照明領域の入射のサイズを変化させる照明系を提供する。上記照明領域はフォトリソグラフィプロセスにおいてレチクルに、続いて像化される。上記照明系は、上記照明系の光軸に沿って直列に、光源、ビーム調整器、第1の光学インテグレータ、第1すなわち入力コリメーティングレンズ、ズームアレイインテグレータ(ZAI)、第2すなわち出力コリメーティングレンズ、上記光学散乱素子、リレーレンズおよび上記レチクルを含む。上記ZAIは、固定され、そして移動可能なレンズコンポーネントのアセンブリを含む。

請求項（抜粋）：

フォトリソグラフィの照明系であって、 複数の入射光源像を共に生成する照明光源および光学インテグレータと、 該複数の入射光源像から複数の入射ビームを受け取り、そして該入射ビームを用いて照明面において照明領域を形成するコンデンサであって、該コンデンサは、固定されたレンズコンポーネントおよび移動可能なレンズコンポーネントを有するズームアレイインテグレータ(ZAI)であって、該レンズコンポーネントは、該ZAIのズーム範囲全体にわたって、該照明領域のサイズを制御可能に変化させるように、そして、該ズーム範囲全体にわたった該照明面において実質的に固定した開口数でテレセントリックな照明を維持するように構成されている、ズームアレイインテグレータ(ZAI)を含み、該照明領域は光学素子によって散乱され、次いで、該ズーム範囲全体にわたって、レチクルに実質的に固定された該レチクルの開口数で該レチクルにテレセントリックに像化される、コンデンサと、 を含む照明系。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 3/00 ,  G02B 27/18 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

G02B 3/00 A ,  G02B 27/18 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527

Fターム (4件)：

5F046BA03 ,  5F046CB13 ,  5F046CB14 ,  5F046CB23

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-285628
  
• 特開平2-285628