特許

J-GLOBAL ID：200903099360550330

基板処理液供給機構

発明者： 土屋 昭夫
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 稲岡 耕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-315524
公開番号（公開出願番号）：特開平11-147067
出願日： 1997年11月17日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】処理液の供給停止時における液漏れを確実に防止すること。【解決手段】基板処理液供給機構1には、ウエハWに供給すべき処理液を貯留するための処理液タンク4と、この処理液タンク4から延びた処理液供給路5とが備えられている。処理液供給路5には、ポンプ6、第1吐出用バルブ7および第2吐出用バルブ8が介装されている。処理液供給路5の第1吐出用バルブ7と第2吐出用バルブ8との間からは、処理液排出路9が分岐して形成されている。処理液排出路9の先端は、この基板処理装置外へ延びたドレン配管に接続されている。処理液排出路9には、処理液排出路9内の処理液の流通を許可/阻止するための排出用バルブ10が介装されている。排出用バルブ10を開成することにより、第1吐出用バルブ7と第2吐出用バルブ8との間の処理液供給路5内の処理液をドレン配管へ排出することができる。

請求項（抜粋）：

処理液供給源に接続され、基板に対して処理を施すための処理液を基板に向けて供給するための処理液供給路と、この処理液供給路に介装され、処理液の流通を許可する開成状態および処理液の流通を阻止する閉成状態に切り換え可能に設けられた第1バルブおよび第2バルブと、上記処理液供給路の第1バルブと第2バルブとの間の処理液を排出するために、上記処理液供給路の第1バルブと第2バルブとの間に接続された処理液排出路と、この処理液排出路に介装され、処理液の流通を許可する開成状態および処理液の流通を阻止する閉成状態に切り換え可能に設けられた第3バルブとを含むことを特徴とする基板処理液供給機構。

IPC (7件)：

B05C 11/10 ,  B05C 11/08 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/306 ,  G03F 7/30 501

FI (8件)：

B05C 11/10 ,  B05C 11/08 ,  H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/304 648 K ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/30 569 C ,  H01L 21/306 J