特許

J-GLOBAL ID：200903099363228773

露光装置

発明者： 藤田 浩裕
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 前田 均 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-011875
公開番号（公開出願番号）：特開2001-203145
出願日： 2000年01月20日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】 人体の進入を確実に防止でき、チャンバの開口部毎に設置する必要がなく、さらにチャンバの設計変更に対して柔軟に対応することである。【解決手段】 チャンバ1により隔離された空間に装置本体を収容してなる露光装置において、所定の検知空間SA内に人体の一部が進入したことを検知する人体検知センサ7を、該検知空間SAがチャンバ1による隔離空間にほぼ一致するように設け、人体検知センサ7により人体の進入が検知された場合に装置本体2の運転を停止させる処理を含む安全処理を実施する。

請求項（抜粋）：

チャンバにより隔離された空間に装置本体を収容してなる露光装置において、所定の検知空間内に人体の一部が進入したことを検知する人体検知センサを、該検知空間が前記チャンバによる隔離空間にほぼ一致するように設け、前記人体検知センサにより人体の進入が検知された場合に所定の安全処理を行うことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 Z ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (14件)：

2H097BA03 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F046AA23 ,  5F046AA28 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CD01 ,  5F046CD02 ,  5F046DA09 ,  5F046DB14 ,  5F046DC14 ,  5F046DD01