特許

J-GLOBAL ID：200903099373573851

ポジ型レジスト組成物

発明者： 河田 正司 ,  中村 昌洋
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-185327
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029978
出願日： 1994年07月14日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】 感度・解像度・残膜率等の諸特性を有するポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂および特定構造の4核フェノール化合物のキノンジアジドエステルを含有するポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性フェノール樹脂と感光剤とを含有するポジ型レジスト組成物において、感光剤が一般式(1)【化1】および/または一般式(2)【化2】(式中、R1、R4、R13およびR16はハロゲン原子、置換可アルキル基、置換可シクロアルキル基、置換可アルケニル基、置換可アルコキシ基、置換可アリール基、置換可アシル基であり、R2、R3、R5、R6およびR14、R15、R17、R18は水素原子、ハロゲン原子、置換可アルキル基、置換可シクロアルキル基、置換可アルケニル基、置換可アルコキシ基、置換可アリール基、置換可アシル基であり、R7〜R12およびR19R24は水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、置換可アルキル基、置換可シクロアルキル基、置換可アルケニル基、置換可アルコキシ基、置換可アリール基、置換可アシル基であり、Xは、単結合、-O-、-S-、-SO-、-SO2-、-CO-、-CO2-、シクロペンチリデン、シクロヘキシリデン、フェニレン、-C(R25)(R26)-(式中、R25とR26は、水素原子、置換可アルキル基、置換可アルケニル基、置換可アリール基である。)、式(3)【化3】(式中、n=1〜5の整数である。R27〜R30は、水素原子または置換可アルキル基である。)または式(4)【化4】(式中、R31〜R34は、水素原子または置換可アルキル基である。)である。)で表されるポリヒドロキシ化合物のキノンジアジドスルホン酸エステルであることを特徴とするポジ型レジスト組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/023 501 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027