特許
J-GLOBAL ID：200903099378212687
基板の冷却装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-195330
公開番号（公開出願番号）：特開平7-030027
出願日： 1993年07月12日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 簡易な構成により、短時間で基板の温度分布をほぼ均一な状態で冷却する。【構成】 冷却プレート1の中央部に形成された冷却水排出口2から冷却水を供給して水路3内を通過させ、冷却プレート1の周辺部に形成された冷却水排出口4、5から排出する。【効果】 載置台の中央部の温度がその周辺部の温度より低くなるので、載置される基板の温度分布を補完しながら冷却することができ、短時間に被冷却基板の温度分布がほぼ均一な状態で冷却できる。
請求項（抜粋）：
基板を載置台に直接もしくは所定の間隔をおいて載置して冷却する基板の冷却装置において、前記載置台のほぼ中央部に形成された冷却液導入口と、前記載置台の周辺部に形成された冷却液排出口と、前記載置台内部に形成され、前記冷却液導入口と前記冷却液排出口とを接続する水路と、を備え、前記冷却液導入口に冷却液を供給することにより前記基板をその中央部から冷却するようにしたことを特徴とする基板の冷却装置。
IPC (3件)：
H01L 23/473
, H01L 21/304 361
, H05K 7/20
