特許
J-GLOBAL ID：200903099382834552
有機焦電圧電体の形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-119212
公開番号（公開出願番号）：特開平5-311399
出願日： 1992年05月12日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】 耐熱性、絶縁性に優れた焦電圧電性を有する高分子膜を基板上に簡単に形成する方法。【構成】 基板と、該基板前方に配置された電極との間に高電界を印加しながら真空中で2種以上の高分子膜の原料モノマーを蒸発させ、基板上で蒸着重合中の高分子膜に分極処理を施して焦電圧電性を有する高分子膜を形成する方法。
請求項（抜粋）：
基板上に積層状に配設された対向電極間に分極処理された高分子膜を介在させた有機焦電圧電体の形成方法において、基板前方に配置された針状、線状、或いは網状の電極と、基板との間に高電界を印加しながら真空中で2種以上の高分子膜の原料モノマーを蒸発させ、基板上で蒸着重合させて分極処理された高分子膜を形成することを特徴とする有機焦電圧電体の形成方法。
IPC (6件)：
C23C 14/12
, C08J 5/18
, H01L 41/26
, G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 37/02
