マグネトロン容量結合型プラズマによる気化性金属化合物からの高純度金属の還元精製方法及びそのための装置

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：入交孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-156944
公開番号（公開出願番号）：特開2004-359979
出願日： 2003年06月02日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：

【課題】高純度で低廉な気化性金属化合物を出発原料として、その高純度を保って、効率的、且つ低エネルギー消費量によりTiなどの高純度の還元金属を得る。【解決手段】チャンバー内の反応域に水素と共にTiCl4などの気化性金属化合物8を気化して供給し、該反応域に内管1と外管2とから構成される外部電極と磁石4を収容した内部電極3との間にマグネトロン容量結合型プラズマ11を形成して水素還元を行い、還元された金属と水素化物(9)を分離回収する。還元された金属は、主として電極、チャンバー壁面に析出して剥離し、自然落下してチャンバー下部に堆積して収集される。酸素と強固に結合し、熱還元により高純度金属を得ることが困難な活性な金属で、高純度で気化性ハロゲン化物や水素化合物の得られる金属、Si、Ge、Al、Sn、Vなどに広く適用可能である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

反応域に水素、又は塩素などの反応ガスと共にハロゲン化物、又は水素化合物などの気化性金属化合物を導入し、該反応域にマグネトロン容量結合型プラズマを形成して金属を還元・解離させ、還元された金属と反応生成物を分離回収することを特徴とする、高純度金属の還元精製方法。

IPC (4件)：

C22B9/22 , C01B33/02 , C22B34/12 , F27D11/12

FI (4件)：

C22B9/22 , C01B33/02 Z , C22B34/12 102 , F27D11/12

Fターム (30件)：

4G072AA01 , 4G072BB05 , 4G072GG03 , 4G072GG04 , 4G072HH04 , 4G072HH06 , 4G072HH08 , 4G072JJ01 , 4G072JJ06 , 4G072MM01 , 4G072RR04 , 4G072RR11 , 4G072RR25 , 4K001AA02 , 4K001AA12 , 4K001AA23 , 4K001AA24 , 4K001AA27 , 4K001AA28 , 4K001BA08 , 4K001DA10 , 4K001DA12 , 4K001GA19 , 4K001HA09 , 4K063AA19 , 4K063BA03 , 4K063CA01 , 4K063CA03 , 4K063CA08 , 4K063FA82

引用特許：

審査官引用 (3件)

プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-305647 出願人：株式会社日立国際電気, 佐藤徳芳, 飯塚哲
特開昭60-070135
プラズマ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-295591 出願人：日本電気株式会社

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