特許
J-GLOBAL ID:200903099402112281
高密着性ポリアリーレンエーテル
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
清水 猛 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-153896
公開番号(公開出願番号):特開平11-322920
出願日: 1998年05月19日
公開日(公表日): 1999年11月26日
要約:
【要約】【課題】 半導体装置の配線層における信号伝播遅延、クロストーク等の問題解決に有効な、非晶化した低誘電率、高耐熱性、高密着性の高分子材料を提供することである。【解決手段】 1000以上50000以下の分子量の成分を全重合体中10重量%以上80重量%以下含むことを特徴とするポリアリーレンエーテル。
請求項(抜粋):
1000以上50000以下の分子量の成分を全重合体中10重量%以上80重量%以下含むことを特徴とするポリアリーレンエーテル。
IPC (2件):
C08G 65/38
, C08J 9/28 101
FI (2件):
C08G 65/38
, C08J 9/28 101
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