特許

J-GLOBAL ID：200903099406574751

アブソリュートエンコーダ用スケール、その製造方法及びアブソリュートエンコーダ

発明者： 富永 淳 ,  川床 修
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-050104
公開番号（公開出願番号）：特開2003-247864
出願日： 2002年02月26日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】 単一トラックでアブソリュート信号を生成可能なスケールを用いて、小型のアブソリュートエンコーダを実現する。【解決手段】 スケール20上の目盛深さhを変えることにより起こる信号振幅の変化を長周期トラック信号とし、短周期目盛から得られる位相信号と併せて使用する。

請求項（抜粋）：

スケール上の目盛深さ又は光学濃度を長手方向に変えることにより起こる信号振幅の変化を長周期トラック信号とし、短周期目盛から得られる位相信号と併せて使用することを特徴とするアブソリュートエンコーダ用スケール。

IPC (4件)：

G01D 5/30 ,  G01D 5/34 ,  G01D 5/38 ,  G03F 7/20 501

FI (4件)：

G01D 5/30 W ,  G01D 5/38 A ,  G03F 7/20 501 ,  G01D 5/34 D

Fターム (31件)：

2F103BA32 ,  2F103BA43 ,  2F103CA02 ,  2F103CA03 ,  2F103CA04 ,  2F103DA04 ,  2F103DA09 ,  2F103DA11 ,  2F103DA12 ,  2F103EA02 ,  2F103EA04 ,  2F103EA05 ,  2F103EA15 ,  2F103EA18 ,  2F103EA19 ,  2F103EA20 ,  2F103EB01 ,  2F103EB11 ,  2F103EB32 ,  2F103EB33 ,  2F103ED27 ,  2F103FA01 ,  2F103FA06 ,  2F103FA08 ,  2F103FA12 ,  2F103FA18 ,  2H097AA03 ,  2H097BB01 ,  2H097CA16 ,  2H097CA17 ,  2H097LA20