特許
J-GLOBAL ID：200903099411275339
酸化銅の還元処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
松本 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-032490
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235541
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】【目的】 爆発の危険性がなく安全であって、しかも、大面積処理や連続処理に適しており、容易に実施できる実用的な酸化銅の還元処理方法を提供する。【構成】 銅層の表面を酸化処理して酸化銅を生成させた後、この酸化銅を、大気圧付近の圧力下で生起し還元性ガスが導入されているプラズマで還元するようにする酸化銅の還元処理方法。
請求項（抜粋）：
銅層の表面を酸化処理して酸化銅を生成させた後、この酸化銅を、大気圧付近の圧力下で生起し還元性ガスが導入されているプラズマで還元するようにする酸化銅の還元処理方法。
IPC (6件)：
H05K 3/38
, C21D 1/76
, C22F 1/08
, C23C 8/36
, C23C 22/83
, H05K 3/46
