特許

J-GLOBAL ID：200903099417026764

溶液供給装置

発明者： 塩野 清一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-169422
公開番号（公開出願番号）：特開平9-020359
出願日： 1995年07月05日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【目的】 容器交換時、溶液と空気との接触の機会を軽減する。【構成】 溶液(レジスト)を収容する容器と、前記容器の溶液供給口部に取り付けられて溶液供給口を気密的に塞ぐキャップと、前記キャップを溶液供給口部から外した後前記溶液供給口部に気密的に取り付けられる配管付キャップとを有する溶液供給装置であって、前記配管付キャップの配管はキャップ部分までとなり、前記容器には接続時前記配管付キャップの配管と連通状態となり前記溶液供給口部から容器底内面近傍に亘って延在するガイド管が設けられている。前記キャップおよび配管付キャップは溶液供給口部に対して摺動自在となり、配管付キャップでキャップを押し出すことによって溶液供給口部に固定できる構成となっている。

請求項（抜粋）：

溶液を収容する容器と、前記容器の溶液供給口部に取り付けられて溶液供給口を気密的に塞ぐキャップと、前記キャップを溶液供給口部から外した後前記溶液供給口部に気密的に取り付けられる配管付キャップとを有する溶液供給装置であって、前記配管付キャップの配管はキャップ部分までとなり、前記容器には接続時前記配管付キャップの配管と連通状態となり前記溶液供給口部から容器底内面近傍に亘って延在するガイド管が設けられていることを特徴とする溶液供給装置。

IPC (4件)：

B65D 47/06 ,  B05C 11/10 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

B65D 47/06 J ,  B05C 11/10 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/30 564 C