特許
J-GLOBAL ID：200903099421469123
形態観察装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-130966
公開番号（公開出願番号）：特開平5-325863
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：
【要約】【目的】 試料の発光部位の同定の容易化を図ることのできる形態観察装置を提供することを目的とする。【構成】 形態観察装置は荷電粒子を試料に照射する照射系1、記荷電粒子の照射により試料の発光部位から発生した光を受光する受光部2、荷電粒子の照射に基づき前記試料の各部位から該試料の形態に対応して飛来する電子を検出する光電子増倍管、受光部9の受光信号と光電子増倍管7の検出信号とに基づき、試料5の形態画像と発光部位の画像とを重ね合わせた重ね合わせ画像信号を形成するための画像信号形成部と、重ね合わせ画像信号に基づき試料5の発光部位を形態画像に重ね合わせて表示するテレビモニター19とを備えている。
請求項（抜粋）：
荷電粒子を試料に照射する照射系と、前記荷電粒子の照射により前記試料の発光部位から発生した光を受光する受光部と、前記荷電粒子の照射に基づき前記試料の各部位から該試料の形態に対応して飛来する電子を検出する電子検出部と、前記受光部の受光信号と前記電子検出部の検出信号とに基づき、前記試料の形態画像と前記発光部位の画像とを重ね合わせた重ね合わせ画像信号を形成するための画像信号形成部と、前記重ね合わせ画像信号に基づき前記試料の発光部位を形態画像に重ね合わせて表示する画像形成部と、を備えていることを特徴とする形態観察装置。
IPC (4件)：
H01J 37/22
, H01J 37/244
, H01J 37/26
, H01J 37/28
