特許

J-GLOBAL ID：200903099430836457

形状計測装置及び形状計測方法

発明者： 石渡 裕
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-161187
公開番号（公開出願番号）：特開2002-350117
出願日： 2001年05月29日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】観察物体に高段差の部分と微小な形状変化部分の両方が存在する場合でも、観察物体の凹凸の反転等を伴うことなく正確に形状を計測することができ、煩雑な操作を伴わず、簡素な装置構成で計測可能な形状計測装置及び形状計測方法を提供する。【解決手段】複数の波長を選択可能な光源装置1と、微分干渉顕微鏡と、干渉画像を形成する2つの光の相対的な位相量を変化させる位相変化装置2と、撮像装置29と、少なくとも2つの波長で観察物体の位相分布画像を形成し、形成された位相分布画像の各点の値を選択された波長間で比較する演算装置30とを有している。

請求項（抜粋）：

複数の波長を選択可能な光源装置と、微分干渉顕微鏡と、干渉画像を形成する2つの光の相対的な位相量を変化させる位相変化装置と、撮像装置と、少なくとも2つの波長で観察物体の位相分布画像を形成し、形成された位相分布画像の各点の値を選択された波長間で比較する演算装置とを有することを特徴とする形状計測装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/02 ,  G02B 21/00

FI (3件)：

G01B 9/02 ,  G02B 21/00 ,  G01B 11/24 D

Fターム (33件)：

2F064AA09 ,  2F064CC04 ,  2F064FF01 ,  2F064GG13 ,  2F064GG22 ,  2F064GG33 ,  2F064GG38 ,  2F064GG41 ,  2F064GG59 ,  2F064HH01 ,  2F065AA54 ,  2F065BB17 ,  2F065DD03 ,  2F065FF50 ,  2F065FF51 ,  2F065GG23 ,  2F065HH08 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL20 ,  2F065LL22 ,  2F065LL37 ,  2F065MM26 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2H052AA05 ,  2H052AC04 ,  2H052AC10 ,  2H052AC30 ,  2H052AF03 ,  2H052AF14 ,  2H052AF25