特許

J-GLOBAL ID：200903099437335879

焼成用樹脂組成物、焼成用感光性樹脂組成物及びセラミックパターン形成方法

発明者： 中島 寛幸
出願人/特許権者： 日本合成化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-267867
公開番号（公開出願番号）：特開2001-089671
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：

【要約】【課題】 低温でも焼成が可能な焼成用樹脂組成物、特に焼成用感光性樹脂組成物及び、該感光性樹脂組成物を用いたセラミックパターン形成方法を提供すること。【解決手段】 樹脂と金属過酸化物を含有してなる焼成用樹脂組成物または焼成用感光性樹脂組成物であり、該感光性樹脂組成物層を基板上に形成した後、パターンマスクを介して露光及び現像を行い、該基板上に凹凸のレジストパターンを形成し、次いで、該レジストパターンの凹部にセラミック材料を充填し、その後該レジストパターンとセラミック材料の両方を焼成しセラミック隔壁を形成する。

請求項（抜粋）：

樹脂と金属過酸化物を含有してなることを特徴とする焼成用樹脂組成物。

IPC (5件)：

C08L101/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/40 521 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (5件)：

C08L101/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/40 521 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B

Fターム (57件)：

2H025AA00 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025CA01 ,  2H025CA18 ,  2H025CA22 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CC20 ,  2H025EA08 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA39 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096CA16 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096HA30 ,  2H096JA04 ,  4J002AA001 ,  4J002BB001 ,  4J002BF021 ,  4J002BG001 ,  4J002BG021 ,  4J002DA117 ,  4J002DE056 ,  4J002DE076 ,  4J002DE086 ,  4J002DE096 ,  4J002DE106 ,  4J002DE116 ,  4J002DE136 ,  4J002DE156 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03 ,  5C027AA09 ,  5C040GF18 ,  5C040GF19 ,  5C040JA20 ,  5C040JA22 ,  5C040KA07 ,  5C040KA14 ,  5C040KA16 ,  5C040MA23 ,  5C040MA26