特許

J-GLOBAL ID：200903099442420990

集積化光装置及びその製造方法

発明者： 田淵 晴彦
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-216633
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074343
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 無調整で組立が可能で、かつ光学部品搭載用基板を迅速に加工することができる集積化光装置及びその製造方法を提供する。【構成】 シリコン基板、誘電体層及びシリコン層を含む基板と、光ファイバを位置決めするための光ファイバガイド用溝と、シリコン基板を露出させる開口部と光ファイバの端面が焦点となるような位置に配置された第1の球レンズと、シリコン基板の表面に形成された第1のレンズガイド用孔と、光ファイバから第1の球レンズよりも離れた位置に配置された第2の球レンズと、第2のレンズガイド用孔と、第2の球レンズのほぼ焦点位置に配置されるように基板の表面に搭載された第1の光半導体部品とを含む。

請求項（抜粋）：

シリコン基板(11)、誘電体層(12)及び該誘電体層上に形成されたシリコン層(13)を含む基板(10)と、光ファイバ(23)を位置決めするための前記シリコン層(13)に設けられた光ファイバガイド用溝(24)と、前記光ファイバガイド用溝(24)に連続するようにして、前記シリコン層(13)及び前記誘電体層(12)に形成され、前記シリコン基板(11)を露出させる開口部(25)と、前記光ファイバガイド用溝(24)に位置決めされる光ファイバ(23)の光軸を延長した主光軸上であって、該光ファイバの端面が焦点となるような位置に配置された第1の球レンズ(16d)と、前記第1の球レンズ(16d)を位置決めするために、前記開口部(25)の底面に露出した前記シリコン基板(11)の表面に形成された第1のレンズガイド用孔(17d)と、前記主光軸上であって、前記光ファイバ(23)から前記第1の球レンズ(16d)よりも離れた位置に配置された第2の球レンズ(16b)と、前記第2の球レンズ(16b)を位置決めするために、前記開口部(25)の底面に露出した前記シリコン基板(11)の表面に形成された第2のレンズガイド用孔(17b)と、前記光軸上であって、前記第2の球レンズ(16b)のほぼ焦点位置に配置されるように前記基板(10)の表面に搭載された第1の光半導体部品(20)とを含む集積化光装置。

IPC (6件)：

H01L 27/15 ,  H01L 21/02 ,  H01L 31/0232 ,  H01L 31/12 ,  H01L 33/00 ,  H01S 3/18