特許
J-GLOBAL ID:200903099444285089

圧電振動子を使用した検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 野▲崎▼ 照夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-337139
公開番号(公開出願番号):特開平8-210856
出願日: 1994年12月26日
公開日(公表日): 1996年08月20日
要約:
【要約】【目的】 圧電振動子からの振動出力を検出する検出回路において、圧電振動子の制動容量に流れる電流または制動容量にかかる電圧および誘電体損失成分を打消しまたは低減させて高感度な出力を得るようにする。【構成】 交流駆動電源21から駆動手段に電力が与えられて振動型ジャイロスコープなどの弾性体が駆動される。コリオリ力などにより変形する弾性体の振動が圧電振動子により検出されるが、圧電振動子の一方の電極11に、圧電振動子と同じ圧電材料により形成された基準素子を直列に接続し、経路L2により基準素子にかかる電圧を取り出しこれを増幅器23により増幅する。差動回路24により、出力経路L1の検出電圧から前記増幅された電圧を減じる。これにより圧電振動子の制動容量および誘電体損失成分が、基準素子の容量および抵抗成分により等価的に低減され、高感度の振動検出ができる。
請求項(抜粋):
振動が与えられる圧電振動子と、圧電振動子から電圧または電流を検出する第1の検出経路と、圧電振動子に接続されたもので前記圧電振動子と同じ圧電材料の基準素子と、前記基準素子にかかる電圧を検出する第2の検出経路と、第1の検出経路と第2の検出経路の検出出力の差または和を求める手段とが設けられていることを特徴とする圧電振動子を使用した検出装置。
IPC (4件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  H03H 9/24

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