特許
J-GLOBAL ID:200903099445427588
カラーフィルターの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-278879
公開番号(公開出願番号):特開平8-136723
出願日: 1994年11月14日
公開日(公表日): 1996年05月31日
要約:
【要約】【目的】アライメントの誤差を低減し、アライナーを用いてアライメント操作を迅速、正確にすることを目的とする。【構成】基体シートの表面にカラーフィルターのパターンを形成してなる転写シートを作成し、その転写シート上のカラーフィルターを低膨張率のガラスを基材とする被転写体へ転写するカラーフィルターの製造方法において、前記転写シートの基材として被転写体と相等しい熱膨張率の光不透過性の金属シートを用い、その金属シートの表面の周辺部に略アライメント用の開口部を形成し、このアライメント用開口部を、基体シート上にカラーフィルターを形成する際には露光用マスクのアライメントマークとの略アライメントに用い、カラーフィルターを被転写体へ転写する際には被転写体のアライメントマークとの略アライメントに用いることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
請求項(抜粋):
基体シートの表面にカラーフィルターのパターンを形成してなる転写シートを作成し、その転写シート上のカラーフィルターを低膨張率のガラスを基材とする被転写体へ転写するカラーフィルターの製造方法において、前記転写シートの基材として被転写体と相等しい熱膨張率の光不透過性の金属シートを用い、その金属シートの表面の周辺部に略アライメント用の開口部を形成し、このアライメント用開口部を、基体シート上にカラーフィルターを形成する際には露光用マスクのアライメントマークとの略アライメントに用い、カラーフィルターを被転写体へ転写する際には被転写体のアライメントマークとの略アライメントに用いることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
IPC (2件):
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
引用特許:
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