特許
J-GLOBAL ID:200903099447557330

洩れ検査方法及び洩れ検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 草野 卓 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-341784
公開番号(公開出願番号):特開2000-162084
出願日: 1998年12月01日
公開日(公表日): 2000年06月16日
要約:
【要約】【課題】 差圧式洩れ検査装置において、被検査体の温度が変動する等の外乱に対して、いつでも真に洩れ量に対応した差圧変化値を求め、洩れの有無を常に正しく判定することができる洩れ検査方法及び装置を提案する。【解決手段】 差圧検出器で検出される差圧発生曲線A1から単位時間当たりの差圧変化値を複数a1,a2,a3を実測し、この実測した差圧変化値を予測演算式に代入して充分長時間経過した時点で予測される差圧変化値Cを算出し、この差圧変化値Cを設定値と比較して洩れの有る無しを判定する。
請求項(抜粋):
被検査体と基準タンクに正又は負の気体圧を印加し、所定時間経過した時点で両者間に所定以上の差圧が発生するか否かにより上記被検査体に洩れが有るか否かを判定する洩れ検査方法において、上記被検査体と基準タンクに気体圧を印加した時点から単位時間間隔で単位時間当たりの差圧変化値を複数求め、この複数の差圧変化値から充分長い時間が経過した時点における洩れ量に相当する単位時間当たりの差圧変化値Cを予測演算式により算出し、この算出値が所定値以上か否かにより洩れの有無乃至は洩れの大小を判定することを特徴とする洩れ検査方法。
IPC (2件):
G01M 3/26 ,  G01L 19/04
FI (2件):
G01M 3/26 A ,  G01L 19/04
Fターム (10件):
2F055AA11 ,  2F055BB05 ,  2F055CC60 ,  2F055EE40 ,  2F055FF01 ,  2F055HH05 ,  2F055HH19 ,  2G067AA44 ,  2G067BB31 ,  2G067DD03
引用特許:
審査官引用 (1件)

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