特許
J-GLOBAL ID：200903099447692793
光学式変位計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院機械技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-186114
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003125
出願日： 1992年06月19日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】 被測定面が傾きをもっている場合に被測定面からの反射光が正しく光学系の光軸上に通過するように補正することができ、精度の高い測定をすることができる光学式変位計を提供すること。【構成】対物レンズ2からの光の光路中に配置されている光ビーム偏向器3と光ビーム偏向器3からの光の焦点位置と横方向位置を検出する焦点位置及び横方向位置検出装置5とを備える。レーザダイオード12が発光し、その光がコリメータレンズ11を通して第1の偏光ビームスプリッタ4に入射され、ここで反射されて1/4波長板8を通りミラー6に入射し、ミラー6で反射されて対物レンズ2を通り被測定面14を照明する。被測定面14で反射された光は光束の焦点位置及び光束の横方向位置が検出される。光束の焦点位置は被測定面14の光軸方向の変位をあらわす。光束の横方向位置は被測定面14の傾きに対応する。
請求項（抜粋）：
対物レンズからの光の光路中に配置されている光ビーム偏向器と前記光ビーム偏向器からの光の焦点位置と横方向位置を検出する焦点位置及び横方向位置検出装置とを備えることを特徴とする光学式変位計。
IPC (2件)：
G01B 11/24
, G01B 11/30 102
