特許

J-GLOBAL ID：200903099450330150

欠陥検査装置

発明者： 崎田 隆二
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-059666
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270325
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】 白色または略白色の欠陥、または、被検物に発生した偏光状態の変化による欠陥を検出することが可能な欠陥検出装置を提供することを目的とする。【構成】光源1から発せられた光を、透明あるいは略透明の被検物3の透過させて、その透過光を受光手段5で受光して、被検物の欠陥検査を行なう欠陥検査装置の、光源1から受光手段5に至る光路の一部に、受光手段5が受光する光の波長を調整するフィルター2、または一組の偏光板対6、7を設けた。

請求項（抜粋）：

光源から発せられた光を、透明あるいは略透明の被検物に透過させて、該透過光を受光手段で受光して、被検物の欠陥検査を行なう欠陥検査装置であって、前記光源から前記受光手段に至る光路の一部に前記受光手段が受光する光の波長を調整するフィルターを設けたことを特徴とする欠陥検査装置。