特許
J-GLOBAL ID：200903099452542376
走査型プローブ顕微鏡ならびに該顕微鏡を用いた加工装置および情報処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-209608
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075761
出願日： 1994年09月02日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】 測定のダイナミックレンジが広く、また制御性を向上した走査型トンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡ならびにそれらを用いた加工装置および情報処理装置を提供する。【構成】 板状構造物102を変位させる静電駆動用電極として、板状構造物102上に設けられている第1の電極105と第1の電極105に対向して板状構造物を支持している基板上に設けられている第2の電極104とを有し、支持部材103のねじれの復元力を利用して動作する板状構造物102上に設けられている導電性探針101を、被観察物である導電性を持つ試料の表面に接近させて走査を行う走査型トンネル顕微鏡であり、導電性を持つ試料が、静電駆動用電極として、導電性試料基板を備える第3の電極106を有し、第1ないし第3の電極が、走査を行う面に垂直な方向で設けられている。
請求項（抜粋）：
板状構造物を変位させる静電駆動用電極として、該板状構造物上に設けられている第1の電極と該第1の電極に対向して該板状構造物を支持している基板上に設けられている第2の電極とを有し、支持部材のねじれの復元力を利用して動作する該板状構造物上に設けられている導電性探針を、被観察物である導電性を持つ試料の表面に接近させて走査を行う走査型トンネル顕微鏡において、前記導電性を持つ試料が、前記静電駆動用電極として、導電性試料基板を備える第3の電極を有し、該第1ないし第3の電極が、前記走査を行う面に垂直な方向で設けられていることを特徴とする、走査型トンネル顕微鏡。
IPC (2件)：
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