特許
J-GLOBAL ID：200903099459125100
雰囲気の分析方法及び分析装置並びにクリーンルーム雰囲気の制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-108204
公開番号（公開出願番号）：特開平5-302872
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】 雰囲気の分析方法及び分析装置並びにクリーンルーム雰囲気の制御装置に関し,クリーンルームの汚染状況を常時監視し制御する方法と装置を目的とする。【構成】 雰囲気の水分を結露させて結露水2とし, 結露水2に含まれる不純物を分析することにより雰囲気に含まれる不純物を分析するように構成する。また,雰囲気を採取して冷却し結露水2を得る冷却部3と,結露水2を受けるドレイン受け4aと, 結露水2に含まれる不純物を分析する分析装置とを有し, 冷却部3及びドレイン受け4aは表面が石英又は高分子材料であるように構成する。また,この分析装置と,クリーンルームに外気を供給する経路に設けられた第1の空気量調整弁と, クリーンルームから排出された空気をリターンする経路に設けられた第2の空気量調整弁と,第1及び第2の調整弁を操作する入出力変換部を有する制御装置により構成する。
請求項（抜粋）：
雰囲気の水分を結露させて結露水(2) とし, 該結露水(2) に含まれる不純物を分析することにより該雰囲気に含まれる不純物を分析することを特徴とする雰囲気の分析方法。
IPC (4件)：
G01N 1/02
, F24F 7/06
, G01N 1/22
, H01L 21/02
