特許
J-GLOBAL ID:200903099461899880
均一分布RC線路及びこれを用いたフィルタ回路
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-244798
公開番号(公開出願番号):特開平10-093370
出願日: 1996年09月17日
公開日(公表日): 1998年04月10日
要約:
【要約】【課題】均一分布RC線路をLSI上で実現する場合に、従来と同じ占有面積で、従来と比べてより高い容量値を実現すること主要な特徴とする。【解決手段】低抗体層1の主面上にはシリコン酸化物等からなる第1の誘電体層2が形成され、低抗体層1の上記主面と対向する面上には、同じくシリコン酸化物等からなる第2の誘電体層3が形成されている。さらに上記第1の誘電体層2上には第1の導電体層4が、上記第2の誘電体層3上には第2の導電体層5がそれぞれ形成されている。すなわち、中心に低抗体層1を設け、これを挟むように第1、第2の誘電体層2、3を設け、さらにその外側に第1、第2の導電体層4、5を設けるような構成にされている。
請求項(抜粋):
入力端子及び出力端子の2端子を有する低抗体層と、上記低抗体層の主面上に形成された第1の誘電体層と、上記低抗体層の上記主面と対向する面上に形成された第2の誘電体層と、上記第1の誘電体層上に形成された第1の導電体層と、上記第2の誘電体層上に形成された第2の導電体層とを具備したことを特徴とする均一分布RC線路。
引用特許:
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