特許
J-GLOBAL ID：200903099463388743
位置合わせマーカ付き基板及び位置合わせマーカ付き光導波路基板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-309231
公開番号（公開出願番号）：特開2002-116332
出願日： 2000年10月10日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：
【要約】【課題】 基板上に形成された位置合わせマーカをその形成面と反対面側から直接視認できるようにする。【解決手段】 位置合わせマーカ13を基板11上に形成された透明な膜12上に形成し、基板11の位置合わせマーカ13が位置する部分に貫通孔14を形成する。貫通孔14及び膜12を介して位置合わせマーカ13を基板11の裏面側から視認することができる。
請求項（抜粋）：
相手方部品との位置合わせを行うための位置合わせマーカが形成された基板であって、上記位置合わせマーカが上記基板上に形成された透明な膜上に位置され、上記基板の、上記位置合わせマーカが位置する部分に貫通孔が形成されていることを特徴とする位置合わせマーカ付き基板。
Fターム (7件)：
2H047KA03
, 2H047PA02
, 2H047PA15
, 2H047PA24
, 2H047PA28
, 2H047QA05
, 2H047TA44
