特許
J-GLOBAL ID:200903099464180046

圧電デバイスの閉蓋構造及び閉蓋方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 均
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-223660
公開番号(公開出願番号):特開2000-040934
出願日: 1998年07月23日
公開日(公表日): 2000年02月08日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 電子ビーム溶接を用いて複数の圧電デバイスのパッケージを一括閉蓋処理する際に、溶着時の不具合をなくして、デバイスの性能を良好に維持することができる方法を提供する。【解決手段】 上面に凹所31を備えたパッケージ本体30に圧電振動子を収納し、該パッケージ本体の凹所開口を金属蓋21にて封止する圧電デバイスであって、パッケージ本体の外枠上面32に金属蓋を押え付けながら電子ビームを外枠上面に沿って走査し、溶着する構造であって、並列配置された複数のパッケージ本体の凹所開口に対する閉蓋を一括して実施する為に一体化された複数の金属蓋連結体20を用い、該金属蓋連結体は、必要最小限の面積形状を有する金属蓋部分と、各金属蓋部分を一体化する連結片22とからなり、該連結片は上記押え付けに際して被押え部材として機能する。
請求項(抜粋):
上面に凹所を備えたパッケージ本体に圧電振動子を収納し、該パッケージ本体の凹所開口を金属蓋にて封止した圧電デバイスであって、パッケージ本体の外枠上面に金属蓋を押え付けながら電子ビームを金属蓋上から該外枠上面に沿って走査することにより走査箇所を溶着する閉蓋構造を備えたものにおいて、並列配置された複数のパッケージ本体の凹所開口に対する閉蓋を一括して実施する為に複数の金属蓋を互いに一体化してなる金属蓋連結体を用い、該金属蓋連結体は、各パッケージ本体の外枠上面と整合して各凹所を密封するに足る必要最小限の面積形状を有する金属蓋部分と、各金属蓋部分を一体化する連結片とからなり、該連結片は上記押え付けに際して被押え部材として機能することを特徴とする圧電デバイスの閉蓋構造。
IPC (2件):
H03H 9/02 ,  H03H 3/02
FI (2件):
H03H 9/02 A ,  H03H 3/02 C
Fターム (4件):
5J108GG03 ,  5J108GG13 ,  5J108GG15 ,  5J108KK04

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