特許
J-GLOBAL ID：200903099464315928
ガルバノミラー及びそれを用いた光ディスク装置
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-292914
公開番号（公開出願番号）：特開平8-211320
出願日： 1995年11月10日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【課題】 軽量・小形な光学ヘッドを実現するガルバノミラー、及び光学ヘッドの高速シークを実現する光ディスク装置を提供する。【解決手段】 ガルバノミラー9は反射ミラー24を形成した揺動体25を備えている。揺動体25はシリコンなどの半導体からなり、2本の弾性体26を介して第1のプレート21の中空部に接続配置している。第1のプレート21の上下には、第2及び第3のプレート22,23がそれぞれ電気絶縁された状態に接合されている。揺動体25と対向する第2及び第3のプレート22,23の各部位には、対称な関係に電極28,29(不図示)と電極30,31が設けられている。このような構成において揺動体25を+極(-極)に帯電させ、また電極29,30を-極(+極)に、電極28,31を+極(-極)に帯電させると、2枚の弾性体26のねじれ変形を伴いながら揺動体25が回転(揺動)される。
請求項（抜粋）：
反射ミラーを備えた帯電可能な揺動体と、前記揺動体を揺動可能に支持する支持部材と、前記反射ミラーが所望の角度で光を反射するように前記揺動体を静電力で動かすための帯電可能な電極と、を具備したことを特徴とするガルバノミラー。
IPC (2件)：
引用特許：
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