透過型電子顕微鏡

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-296245
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118535
出願日： 1999年10月19日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】記録した登録画像に対し、任意の設定時間後に記録した参照画像の2つの画像間の視野ずれ量および方向をリアルタイムで高精度に計測,表示し、視野ずれを自動的に補正する透過型電子顕微鏡を得る。【解決手段】透過型電子顕微鏡において、複数の試料透過像間の視野ずれの量を計算する手段と、電子線を偏向させる偏向器に与える電流をかえて、または試料を移動させて視野ずれを自動的に補正する手段と、以上の手段の動作を繰り返して視野ずれを減少させる制御手段とを備える。

請求項（抜粋）：

電子線を発生させる電子源と、前記電子線を偏向する偏向器と、前記電子線を絞って試料に照射する電磁レンズと、前記試料を透過した試料透過像を検出する検出器とからなる透過型電子顕微鏡において、複数の試料透過像間の視野ずれの量を計算する手段と、前記偏向器に与える電流をかえて、または前記試料を移動させて前記視野ずれを自動的に補正する手段と、以上の手段による動作を繰り返して前記視野ずれを減少させる制御手段とを備えたことを特徴とする透過型電子顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/147 , G06T 1/00 , H01J 37/22 501 , H01J 37/22

FI (4件)：

H01J 37/147 A , H01J 37/22 501 Z , H01J 37/22 501 C , G06F 15/62 380

Fターム (13件)：

5B057AA20 , 5B057BA01 , 5B057CA12 , 5B057CB12 , 5B057CD02 , 5B057CD03 , 5B057CD18 , 5B057CG05 , 5B057DA07 , 5B057DA16 , 5B057DC34 , 5C033EE04 , 5C033EE06

引用特許：

審査官引用 (10件)

透過形電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-062409 出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
電子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-122019 出願人：株式会社ニコン
パターン検査方法およびその装置並びに電子線画像に基づくパターン検査方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-000606 出願人：株式会社日立製作所

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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