特許
J-GLOBAL ID：200903099476559598
イオン処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-249805
公開番号（公開出願番号）：特開平7-078587
出願日： 1993年09月09日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【目的】 低エネルギーの電子を基板に過不足なく供給して、イオンビーム照射に伴う基板の帯電を効果的に抑制することができるようにしたイオン処理装置を提供する。【構成】 第1プラズマ生成容器26と第2プラズマ生成容器48を設け、前者内のプラズマ40から引き出した電子42を用いて第2プラズマ生成容器48内で濃いプラズマ54を作るようにした。そして、この第2プラズマ生成容器48内のプラズマ54から低エネルギーの電子をイオンと共にプラズマ状態で連結筒61内に引き出し、それを磁束Bでガイドしてファラデーカップ8内に導入し、そこでリフレクタ電極78によってイオンを捕捉除去して低エネルギーの電子のみをイオンビーム2側に押し返して供給するようにした。
請求項（抜粋）：
基板を保持するホルダと、このホルダの上流側に設けられていて二次電子のアースへの逃げを防止するファラデーカップとを備え、このファラデーカップ内を通してイオンビームをホルダ上の基板に照射して当該基板を処理するイオン処理装置において、前記ファラデーカップの壁面の一部に設けられた孔と、この孔の外側に設けられていて、内部にガスが導入され、かつファラデーカップ側に小孔を有する第1プラズマ生成容器と、この第1プラズマ生成容器内に設けられたフィラメントと、前記第1プラズマ生成容器の小孔の出口側近傍に設けられていて前後に小孔を有する第2プラズマ生成容器と、この第2プラズマ生成容器のファラデーカップ側の小孔の出口側近傍に設けられていて、小孔を有しかつファラデーカップと同電位にされた引出し電極と、この引出し電極と前記ファラデーカップの孔との間を連結する連結筒と、前記第1プラズマ生成容器の小孔付近から連結筒内にかけての領域に、それらの軸方向に沿う磁束を発生させる磁束発生手段と、前記ファラデーカップ内にそれから絶縁して設けられていて、当該ファラデーカップ内の前記孔が設けられた部分の周囲を当該孔の部分を除いて覆うリフレクタ電極と、前記フィラメントを加熱するフィラメント電源と、前記第2プラズマ生成容器とフィラメントとの間に前者を正側にして接続された直流のプラズマ生成用電源と、前記第2プラズマ生成容器と第1プラズマ生成容器との間に接続された制限抵抗と、前記ファラデーカップとフィラメントとの間に前者を正側にして接続された直流の引出し電源と、前記リフレクタ電極とファラデーカップとの間に前者を負側にして接続された直流のリフレクタ電源とを備えることを特徴とするイオン処理装置。
IPC (3件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01J 27/08
