特許
J-GLOBAL ID：200903099482657437
走査型電子線回折装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-011727
公開番号（公開出願番号）：特開平8-203460
出願日： 1995年01月27日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】 試料の結晶状態の分布を表す低倍率から高倍率までの走査像を分解能よく得る。【構成】 光軸方向に並べた2つの対物レンズ4と5の間に2段の走査コイル5を配設する。低倍率の走査像観察時には対物レンズ(上)4のみで電子ビームを収束して走査コイルでビームを平行走査し、高倍率時には対物レンズ(下)6のみで電子ビームを収束して走査コイルでビームを通常走査する。
請求項（抜粋）：
電子ビームを発生する電子銃とその電子ビームを細く絞る対物レンズとその電子ビームを走査する走査コイルを有する走査型電子線回折装置において、電子ビームを試料面に収束させるための対物レンズを光軸方向に互いに離隔して2個設け、この2つの対物レンズ間に2段の走査コイルを配設したことを特徴とする走査型電子線回折装置。
IPC (4件)：
H01J 37/147
, H01J 37/141
, H01J 37/22 502
, H01J 37/28
