特許
J-GLOBAL ID：200903099484211207
膜被覆物およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-113946
公開番号（公開出願番号）：特開平8-283931
出願日： 1995年04月14日
公開日（公表日）： 1996年10月29日
要約：
【要約】【目的】 基体表面の膜が硬度および靱性に優れている膜被覆物およびその製造方法を提供する。【構成】 この膜被覆物2は、基体4の表面に、窒化クロム単独または窒化クロムおよびクロムから成る窒化クロム系膜6を形成し、かつこの窒化クロム系膜6の表面に、ダイヤモンド構造の炭素を含む炭素および窒化炭素の少なくとも一方から成る炭素系膜8を形成したものである。このような膜被覆物2は、基体4に対して、クロムの蒸着と、少なくとも窒素イオンを含むイオンビームの照射とを行い、次いで、炭素の蒸着と、不活性ガスイオンおよび窒素イオンの少なくとも一方を含むイオンビームの照射とを行うことによって製造することができる。
請求項（抜粋）：
基体の表面に、窒化クロム単独または窒化クロムおよびクロムから成る窒化クロム系膜を形成し、かつこの窒化クロム系膜の表面に、ダイヤモンド構造の炭素を含む炭素および窒化炭素の少なくとも一方から成る炭素系膜を形成していることを特徴とする膜被覆物。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/06 N
, C23C 14/22 A
