特許
J-GLOBAL ID：200903099488389442
ノズルプレートの製造方法、ノズルプレート及びインクジェットヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
石井 暁夫
, 東野 正
, 西 博幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-295875
公開番号（公開出願番号）：特開2006-103254
出願日： 2004年10月08日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
【課題】 加工精度の高いノズルを、安価に且つ容易に製造できるノズルプレートの製造方法、またこの製造方法で製造されたノズルプレート及び、この製造方法で製造されたノズルプレートを備えるインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】 あらかじめノズル11aの位置に対応して貫通孔17が穿設された基板12の一面50に、ポリアミック酸シート51と撥水層52と感光層53とを順次積層する工程と、感光層53にノズル11aに対応した孔形状55を含むパターンを形成する工程と、感光層53のパターンの孔形状55に従って、撥水層52及びポリアミック酸シート51にウエットエッチングでノズルを加工する工程と、感光層53を除去する工程と、熱処理によりポリアミック酸をイミド化する工程とが備えられている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
流体が吐出されるノズルを有するノズルプレートの製造方法において、
あらかじめノズルの位置に対応して貫通孔が穿設された基板の一面に、ポリアミック酸シートと撥水層と感光層とを順次積層する工程と、
前記感光層に、前記ノズルに対応した孔形状を含むパターンを形成する工程と、
前記感光層のパターンの孔形状に従って、撥水層及びポリアミック酸シートにウエットエッチングでノズルを加工する工程と、
前記感光層を除去する工程と、
熱処理によりポリアミック酸をイミド化する工程とが備えられることを特徴とするノズルプレートの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
2C057AF93
, 2C057AG15
, 2C057AG33
, 2C057AP12
, 2C057AP13
, 2C057AP24
, 2C057AP33
, 2C057AP60
, 2C057BA04
, 2C057BA14
