特許

J-GLOBAL ID：200903099488416822

筒状ワークの漏れ検査装置用チャンバ

発明者： 稲垣 正彦 ,  太田 裕三
出願人/特許権者： ヤマハファインテック株式会社
代理人 (1件)： 大庭 咲夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-228119
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042889
出願日： 2001年07月27日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】 装置が小型でその構造が簡単になり、また、精度のよいガス漏れ検出ができる漏れ検査装置を可能にする筒状ワークの漏れ検査装置用チャンバを提供すること。【解決手段】 漏れ検査装置10に使用するチャンバの被覆部を、下蓋23と、下蓋23に対して相対的に進退でき下蓋23とでアルミホイール28を密閉状態で収容できるチャンバ本体34とで構成した。そして、下蓋23の内部側にアルミホイール28の下端開口を閉塞するシール部27を設け、チャンバ本体34の内部側に、下蓋23とチャンバ本体34が合体したときに、アルミホイール28の上端開口を閉塞するシール部32を設けた。さらに、下蓋23とチャンバ本体34の接合縁部に着脱自在に係合し被覆部を開閉可能にする係合部37を設けた。

請求項（抜粋）：

両側に開口を有する筒状ワークを、内部側と外部側をそれぞれ別の密閉空間部として隔離した状態で収容可能なチャンバと、前記ワークの内部側および外部側の密閉空間部の一方に接続手段を介して接続されて同一方の密閉空間部にトレースガスを供給するトレースガス供給装置と、前記ワークの内部側および外部側の密閉空間部の他方に接続手段を介して接続されて前記一方の密閉空間部から前記他方の密閉空間部に漏れてくるトレースガスを検出する検出装置とを備えた漏れ検査装置で使用される筒状ワークの漏れ検査装置用チャンバであって、第1の被覆部と、前記第1の被覆部に対して相対的に進退でき前記第1の被覆部とでワークを密閉状態で収容できる第2の被覆部とからなる被覆部と、前記第1の被覆部の内部側に設けられ、前記ワークの一方の開口を閉塞する第1のシール部と、前記第2の被覆部の内部側に設けられ、前記第1の被覆部と前記第2の被覆部が合体したときに、前記ワークの他方の開口を閉塞する第2のシール部と、前記第1の被覆部と前記第2の被覆部の両接合縁部に着脱自在に係合し前記被覆部を開閉可能にする係合部と、で構成したことを特徴とする筒状ワークの漏れ検査装置用チャンバ。

IPC (2件)：

G01M 3/20 ,  G01M 3/32

FI (2件)：

G01M 3/20 B ,  G01M 3/32 R

Fターム (5件)：

2G067AA25 ,  2G067BB04 ,  2G067BB31 ,  2G067CC13 ,  2G067DD18