特許
J-GLOBAL ID：200903099490190904
照明装置と露光装置及び半導体デバイスの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮川 貞二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-044521
公開番号（公開出願番号）：特開平11-231221
出願日： 1998年02月10日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 縦長と横長の長方形をした被照明面を効率的に照明することのできる照明装置とそのような照明装置を備える露光装置、及び半導体デバイスの製造方法を提供する。【解決手段】 多光源形成光学系は、複数の第1光学要素を含んで構成される第1のオプティカルインテグレータ6と、所定の光路中において第1のオプティカルインテグレータ6と交換可能に構成されると共に複数の第2光学要素を含んで構成される第2のオプティカルインテグレータ14とを有し、第1光学要素は、1より大きい第1のアスペクト比を有する長方形の断面形状を持ち、第2光学要素は、第1のアスペクト比のほぼ逆数となる第2のアスペクト比を有する長方形の断面形状を持つ。オプティカルインテグレータ6と、オプティカルインテグレータ14とを交換可能に備えるので、縦長と横長の長方形をした被照明面Rに対応してアスペクト比を選択し効率的に照明できる。
請求項（抜粋）：
入射する光に基づいて複数の光源を形成する多光源形成光学系と、該多光源形成光学系からの複数の光束を集光して、被照明面に照明領域を形成するコンデンサー光学系とを有する照明装置において;前記多光源形成光学系は、複数の第1光学要素を含んで構成される第1のオプティカルインテグレータと、所定の光路中において該第1のオプティカルインテグレータと交換可能に構成されると共に複数の第2光学要素を含んで構成される第2のオプティカルインテグレータとを有し;前記第1光学要素は、1より大きい第1のアスペクト比を有する長方形の断面形状を持ち、前記第2光学要素は、前記第1のアスペクト比のほぼ逆数となる第2のアスペクト比を有する長方形の断面形状を持つことを特徴とする;照明装置。
IPC (5件)：
G02B 19/00
, F21V 9/14
, F21V 13/14
, G03F 7/20 502
, H01L 21/027
G02B 19/00
, F21V 9/14
, F21V 13/14
, G03F 7/20 502
, H01L 21/30 515 D
