特許

J-GLOBAL ID：200903099490948815

画像検出方法、画像検出装置及びウェハ処理装置

発明者： 市川 雅理 ,  山口 隆弘
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-089976
公開番号（公開出願番号）：特開2002-288661
出願日： 2001年03月27日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：

【要約】【課題】 テンプレート画像と実質的に同一なマークを、入力画像から正確に検出する。【解決手段】 画像検出装置20は、予め与えられた第1マークを含む第1領域に近似した第1領域近似部分を入力画像から検出する。画像検出装置20は、第1マークに近似した画像を含む第1領域候補部分を入力画像から検出する第1領域候補部分検出手段24と、第1領域に対する相対的な位置が既知である第2領域の画像に関する情報が予め与えられており、相対的な位置に基づいて、入力画像から第2領域候補部分を定め、第2領域候補部分が第2領域の画像に関する情報と一致するか否かを検出する第2領域候補部分検出手段32とを備える。

請求項（抜粋）：

予め与えられた第1マークを含む第1領域に近似した第1領域近似部分を入力画像から検出する画像検出方法であって、前記第1マークに近似した画像を含む第1領域候補部分を前記入力画像から検出する第1領域候補部分検出ステップと、前記第1領域に対する相対的な位置が既知である第2領域の画像に関する情報が予め与えられており、前記相対的な位置に基づいて、前記入力画像から第2領域候補部分を定め、前記第2領域候補部分が前記第2領域の画像に関する情報と一致するか否かを検出する第2領域候補部分検出ステップとを備えることを特徴とする画像検出方法。

IPC (7件)：

G06T 7/00 300 ,  G06T 7/00 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  G06T 1/00 305 ,  G06T 7/60 150 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

G06T 7/00 300 D ,  G06T 7/00 300 G ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  G06T 1/00 305 C ,  G06T 7/60 150 B ,  H01L 21/30 541 K

Fターム (19件)：

5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DC16 ,  5B057DC19 ,  5F056BC10 ,  5F056BD01 ,  5F056BD05 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096FA06 ,  5L096FA38 ,  5L096FA69 ,  5L096HA08 ,  5L096JA03 ,  5L096JA09