特許

J-GLOBAL ID：200903099494156280

収差測定方法及び収差測定システム

発明者： 河野 拓也 ,  東木 達彦 ,  野村 博
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-271260
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093819
出願日： 1999年09月24日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】2n+1(nは自然数)回対称収差を測定可能な収差測定方法及び収差測定システムを提供する。【解決手段】4本の小パターン21及び4本の大パターン22がある直線の方向とそれに垂直な直線の方向に並んで形成されたバーズインバーズマークが複数形成されてなり、これらバーズインバーズマーク20a〜20cのそれぞれの前記直線が0°,30°及び60°をなして配置される。

請求項（抜粋）：

複数の単位パターンがある直線の方向に並んで形成された収差測定パターンユニットが複数形成されてなり、該複数の収差測定パターンユニットのそれぞれの前記直線が0rad乃至πradの範囲において任意の回転方向にπ/(2n+1)rad(nは自然数)の周期を持って配置されてなる収差測定マスクのパターンを光学系を用いて被処理基板上に投影露光することにより、該光学系の前記直線方向の収差を測定することを特徴とする収差測定方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 Z

Fターム (5件)：

5F046DA14 ,  5F046DB14 ,  5F046EA03 ,  5F046EA09 ,  5F046FB17