特許

J-GLOBAL ID：200903099504959726

光ディスク基板の変形検査方法

発明者： 濱村 誠
出願人/特許権者： 東芝イーエムアイ株式会社
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136986
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331386
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】 光ディスク基板の変形を検査することができる変形検査方法を提供する。【解決手段】 光ディスク基板2の変形検査方法に関する。光ディスク基板2にストライプフィルタ4の像を投影し、光ディスク基板2からの反射像を目盛り5a付きの検査板5を通して目視することにより光ディスク基板2の変形を検査することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光ディスク基板の変形検査方法において、前記光ディスク基板に所定パターンのチャートの像を投影し、光ディスク基板からの反射像を検査板を通して目視することにより光ディスク基板の変形を検査することを特徴とする光ディスク基板の変形検査方法。

IPC (2件)：

G11B 7/26 521 ,  G01B 11/25

FI (2件)：

G11B 7/26 521 ,  G01B 11/24 E

Fターム (16件)：

2F065AA46 ,  2F065BB03 ,  2F065BB18 ,  2F065CC03 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065HH06 ,  2F065JJ11 ,  2F065JJ12 ,  2F065LL21 ,  2F065MM03 ,  2F065PP15 ,  2F065QQ25 ,  5D121AA02 ,  5D121HH07 ,  5D121HH08