特許

J-GLOBAL ID：200903099507830295

ウェーハ加工装置

発明者： 本田 勝男
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-294252
公開番号（公開出願番号）：特開平9-136249
出願日： 1995年11月13日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】外径の異なるウェーハや非円形のウェーハを1台の装置で効率よく一定径の円形に整形することができるウェーハ加工装置の提供。【解決手段】くり抜き加工部16C、面取り加工部16Bが一体に形成された砥石ブロック16をターンテーブル26上にスライド移動自在に支持する。ウェーハ18をターンテーブル26と同軸上に設置されたウェーハテーブル20上に固定する。ターンテーブル26を回転させるとともに、ウェーハ18に向かって下降させ、砥石ブロック16のくり抜き加工部16Cをウェーハ18の表面に当接させる。これにより、ウェーハ18は、円形にくり抜かれる。円形にくり抜いたウェーハ18の周縁の上部を面取り加工部16Bの下部傾斜面16b1 に当接させて、ウェーハの周縁の上部の面取り加工を行う。ウェーハ18の周縁の下部を面取り加工部16Bの上部傾斜面16b2 に当接させて、ウェーハの周縁の下部の面取り加工を行う。これにより、外径の異なるウェーハ18及び非円形のウェーハ18であっても、一定径の円形ウェーハ18に整形される。

請求項（抜粋）：

ウェーハを保持するウェーハ保持部と、くり抜き加工部、第1の面取り加工部及び第2の面取り加工部が一体に形成された砥石ブロックと、前記砥石ブロックが、同一円周上に複数配設されるとともに、半径方向にスライド移動自在に支持された砥石ブロック保持部と、から構成され、前記ウェーハ保持部と前記砥石ブロック保持部とを同軸上で相対的に回転させるとともに、前記ウェーハ保持部と前記砥石ブロック保持部とを相対的に近づけ、前記砥石ブロックのくり抜き加工部を前記ウェーハの表面に当接させて該ウェーハを円形にくり抜き、該円形にくり抜いたウェーハの周縁の一方側を前記第1の面取り加工部に当接させて該ウェーハの周縁の一方側の面取り加工を行うとともに、前記ウェーハの周縁の他方側を前記第2の面取り加工部に当接させて該ウェーハの周縁の他方側の面取り加工を行うことを特徴とするウェーハ加工装置。