特許
J-GLOBAL ID：200903099512155776

表面形状の測定方法及びその装置

発明者：
黒川 光太郎

黒川 光太郎 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-285352
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109416
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】探針の実際形状よりもさらに精密な測定を可能とする。【構成】探針2を走査して被測定物3の表面形状を測定する測定方法において、先端部の中心軸Mを垂直方向に対して走査方向にφ度傾けることによって走査方向に対して一方側面2Aの傾斜角θを大ならしめた探針2を用いて測定する。また、先端部の中心軸Mを垂直方向に対して走査方向にφ度傾けて探針2を取付ける。【効果】探針を傾けることによって、一方側面の傾斜角が大とされた探針が構成され、この探針の先端角よりも急峻な段差、幅狭の溝等を有する被測定物の表面形状が正確に測定される。
請求項（抜粋）：
探針を走査して被測定物の表面形状を測定する表面形状の測定方法において、先端部の中心軸を垂直方向に対して走査方向に傾けることによって走査方向に対して一方側面の傾斜角を大ならしめた探針によって被測定物の表面を走査することを特徴とした表面形状の測定方法。
IPC (2件)：
G01B 7/34 ,  H01J 37/28
引用特許：
審査官引用 (3件)

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