特許

J-GLOBAL ID：200903099518328710

高さ可変センサ-枠

発明者： ジョン・ディー・ギュリアン ,  デイビッド・ジー・クーパー ,  シュオン・ピー・ホン
出願人/特許権者： レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-288241
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121407
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】 迅速で容易な方法で、センサーの配置及び調節を可能にする高さ可変センサー枠を提供する。【解決手段】 位置可変センサー装置が、提供される。前記装置は、トラックホルダー(200)に装着される固定用トラック(202)を具備する。調節可能なセンサーホルダー(100)が、センサーを受けるように適合され、前記固定用トラックの所定位置に摺動して、ロックし得る。前記センサー装置は、液体化学薬品保持容器内の種々の位置にセンサーを配置するために、特別な用途、すなわち半導体製造産業に使用される。

請求項（抜粋）：

トラックホルダーに装着される固定用トラックと、センサーを受けるように適合され、前記固定用トラックの所定位置に摺動し、ロックし得る調節可能なセンサーホルダーとを具備する位置可変センサー装置。

IPC (2件)：

G01F 23/00 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G01F 23/00 B ,  H01L 21/30 569 Z